Tetraethyl orthosilicate , còn được gọi là tetraethoxysilane ( TEOS ), là một hợp chất hữu cơ có công thức Si(OC2H5)4. Chất lỏng không màu này bị phân hủy khi tiếp xúc với nước. TEOS đóng vai trò là este etyl của axit orthosilicic, Si(OH)4, và được công nhận rộng rãi là silic oxit chiếm ưu thế.